超音頻加熱爐要求頻率自動跟蹤，逆變器工作在自激狀態，逆變觸發脈沖的控制信號取自負載。在逆變器還未投入運行時，控制信號無法獲取，如何建立逆變器組逆變觸發脈沖來啟動逆變器，使逆變器由啟動可靠轉向穩定穩定穩定運行，是逆變器啟動的關鍵問題。另外，反相器在啟動后，一般都能適應實際中的任何負荷，而在啟動時不能，所以有些將啟動問題歸結為負荷適應件問題。

超音頻加熱爐并聯逆變器的啟動方式有多種，基本上可以分為他激啟動(共振啟動)和自激啟動(阻尼振蕩啟動)兩種。

超音頻加熱爐激起動是首先讓逆變觸法發射出與負載諧振回路頻率相近的脈沖，去觸發逆變橋晶閘管，使負載回路逐漸形成振蕩，待振蕩形成后，再由他激轉變為自激工作。該方法線路簡單，只需一可調頻多諧振蕩器及他激一自激轉換電路，從而可降低設備成本。但是，在實際工作中，必須預先知道負載的諧振頻率，并在更換負載時，重新修正啟動頻率，使其與負載諧振頻率接近。此啟動方式更適合作為通頻帶寬負載(諧振回路為0值的負載)啟動。通常適用于0≤2的負載堆。當0值較高，即通頻帶較窄、共振區較小的負載時，需要對起動頻率進行較大的校正，若0值較高到使共振區較小，逆變器起動時的引前角可達此擬合時，逆變器無法起動。這是因為在他激起動時，負載兩端的電壓由零逐漸增加，因此在啟動時dUdt很小，換流能力差，需要較大的引前角來啟動。

超音頻鍛造加熱爐爐身自激起動是指先將電容器(或電感)充入負載諧振回路，然后在諧振電路中產生阻尼振蕩，使逆變器啟動。這種方法線路復雜，啟動設備體積大，但尤其適用于負荷為0-0的場合。特別是用于熔化負荷，因為熔化負荷品質因數為0值較高，預加能慢，振蕩衰減慢，易啟動。若0值過低，則預充能消耗過快，振蕩衰減過快，啟動困難。